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电子级双氧水的颗粒管控浅议

来源:普洛帝作者:普洛帝网址:http://www.puluody.com
文章附图

什么是双氧水

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双氧水也叫过氧化氢,过氧化氢是一种重要的化工原料,化学式为H2 O2 过氧化氢是淡蓝色的黏稠液体,可任意比例与水混溶,是一种强氧化   ,水溶液俗称双氧水,为无色透明液体。双氧水的生产方法主要有电   、蒽醌法、异丙醇法、氧阴极还原法和氢氧直接化合法等,蒽醌法   生产双氧水的主要方法   99%以上 的双氧水装置采用该工 艺。

双氧水的作用

氧水根据浓度及应用领域不同可分为电子级、食品级、工业级等。电   级双氧水是生产电子集成电路不可或缺的化学试剂,在半导体制程前   端硅片清洗和剥离蚀刻完成后的光刻胶。主要用于半导体硅晶片清洗剂 刻剂和光刻胶去除剂,还可用于高级绝缘层制取,电镀液无机杂质去   ,电子行业中铜、铜合金和镓、锗的处理,以及太阳能硅晶片的蚀刻   和清洗。从行业产量来看, 2021 年我 国 高纯 电子级双氧水产量 9.44   ,   同比增长 32.0%。

氧水的颗粒管控重要手段



子级双氧水属于湿电子化学品,技术壁垒较高。双氧水的颗粒管控也 PMT-2 。在双氧水生产企业已经得 到广泛应用。